无尘室10万级净化车间要求是什么样的
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁
净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之
房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等
性能之特性。
海兴净化(承接十万级至万级无尘车间)空气净化工程:电子、食品、光学、精密仪
器、手术室、生物制药、药包材、保健品、食品、化妆品、制水等行业10——300000级净化工程承接。洁
净室,亦称为无尘室或清净室。
洁净室0主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之
环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。 世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标
准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。 209E与209D等0大之不
同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3……依此类推,
配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的
幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5…表示。 美国联
邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为
计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,0好的等级为Class 1,0差则为
Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。洁净室按用途分类(可分为两大
类)
工业洁净室——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正
压状态。 它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工
业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
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