电子行业净化设备执行标准是什么

空气净度等级(N)

大于或等于表中粒径的0大浓度限值(pc/m3)

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1

10

2

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4

10000

2370

1020

352

83

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

352000

83200

2930

8

3520000

832000

29300

9

35200000

8320000

293000